博洋化学申请半导体级单晶硅减薄液及其制备方法专利,使减薄液的使用寿命延长50%
发布时间:2025-01-17 15:40 浏览量:12
金融界2025年1月17日消息,国家知识产权局信息显示,苏州博洋化学股份有限公司申请一项名为“半导体级单晶硅减薄液及其制备方法”的专利,公开号CN 119307261 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明涉及减薄液技术领域,公开一种半导体级单晶硅减薄液,包括按质量百分比计的以下成分:乙基三甲基碘化铵20%~25%,二甲基乙醇胺7 %~12%,邻苯二甲酸1%~5%,甲烷磺酸2%~5%,光泽剂2%~5%,螯合剂0.5%~1.0%,缓蚀剂0.2%~0.8%,表面活性剂0.1%~0.6%,纯水余量。本发明采用有机碱体系,将乙基三甲基碘化铵与二甲基乙醇胺结合,通过添加邻苯二甲酸和甲烷磺酸来改变硅减薄的各项异性,有效阻止减薄过程中原硅酸的裂解,氧化硅的同时,能够中和多余的电子,使整个溶液处于电中性状态,阻止多余的电子转移到硅表面的水分子中产生OH‑和H+,有效阻止乙基三甲基碘化铵和二甲基乙醇胺的分解,使得减薄液的使用寿命延长50%。
天眼查资料显示,苏州博洋化学股份有限公司,成立于1999年,位于苏州市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本4330万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州博洋化学股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目6次,知识产权方面有商标信息2条,专利信息85条,此外企业还拥有行政许可30个。